實現(xiàn)潔凈室內多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內的高速搬運！

大型液晶玻璃基板搬運機器人

負載：50KG

動作范圍：1675mm

控制柜：DX100

用途：搬運、潔凈室

適用于第6代（1500*1850mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬運。

更大化利用長距離上下屈伸、低pass line以及雙手臂的特性，實現(xiàn)潔凈室內多層液晶玻璃基板箱體內的高速搬運。

項目 規(guī)格

名稱 MOTOMAN-MFL2200D

機型 YR-MFL050D-A20

構造 水平多關節(jié)形(4個自由度)

負載 50kg/手臂

重復定位精度*1 ±0.2mm

動作范圍 U軸(上下軸) 2650mm

S軸(回轉軸) -215°~+215°

L，R軸(前后軸) -1675mm~+1675mm

動作時間*1

(***高速度運作時) U軸(上下軸) ***大1330mm/s

S軸(回轉軸) 3.14rad/s,180°/s

L，R軸(前后軸) ***大3250mm/s

容許力矩 L，R軸(前后軸) 250N·m

容許慣性力矩(CD2/4) L，R軸(前后軸) 50kg·m2

標準噴涂色 孟塞爾munsell N9.5

本體質量 1020kg

潔凈度 ISO4

安置環(huán)境 溫度 +15~+25°C

濕度 20~80%RH(不結露)

振動 4.9m/s2以下

其他 ·環(huán)境沒有引火性及腐蝕性氣體，液體

·遠離水

·遠離電子噪音源

·安裝機器人水平面水平度在0.5mm以下

電源容量*3 3.5kVA

*1：依據JIS B8432標準

*2：潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環(huán)境下，來確保工件搬運面以上潔凈度。

*3：根據用途、作業(yè)形式會有所不同。