產品概述
<p>Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設計，能夠滿足如今300 mm 工具的要求。該型號占用空間僅11/8″，能節省寶貴的空間；結構堅固，是要求長期穩定性、高精度和適合在惡劣環境使用的壓力測量的理想選擇。與其他采用大體積封頭腔室的產品不同，Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設計。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不銹鋼制造，且表面鈍化拋光至5 Ra（*大7 Ra），確保表面平整且耐化學腐蝕，實現無污染氣體輸送。</p> <p>特性<br /> ·接液部件采用316 L VIM/VAR 不銹鋼制造，<br /> 符合Semi F19/F20 標準<br /> ·出色的穩定性，避免停機<br /> ·抗電磁干擾/ 射頻干擾，可防止誤停機<br /> ·4-20mA 輸出型獲得不易燃認證，適用于潛在危險區域<br /> ·符合CE 標準要求<br /> ·符合RoHS 標準要求</p> <p>應用<br /> ·11/8″“Block”氣體棒和面板<br /> ·高純度氣體輸送系統<br /> ·半導體過程工具</p>
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